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Lambda Vision TFW-100分光膜厚仪

产品时间:2024-03-28
由于Lambda Vision TFW-100分光膜厚仪是非接触式和非破坏性的,因此可以在不损坏样品的情况下快速方便地进行测量。广泛用于研发和在线质量控制中的薄膜厚度测量。高精度、高稳定性

由于Lambda Vision TFW-100分光膜厚仪是非接触式和非破坏性的,因此可以在不损坏样品的情况下快速方便地进行测量。广泛用于研发和在线质量控制中的薄膜厚度测量。高精度、高稳定性

Lambda Vision TFW-100分光膜厚仪特点

可以非接触、非破坏性方式测量薄膜厚度

厚度范围从 10 nm 到 1000 μm,多可测量三层

不仅能测量薄膜厚度,还能测量光学乘数(n、k)(多达 3 个总参数)

支持微小点测量

还可测量滤光片颜料膜厚


Lambda Vision TFW-100分光膜厚仪测量原理

假设在折射率为 n2 的基底上有一层厚度为 d、折射率为 n1 的薄膜,如图所示。 考虑从空气(折射率 n0)入射到薄膜上的光线。 光在美丽的路径上被反射,在穿过薄膜并反射到基底表面的成分中,还有一个成分从薄膜中射出,可以作为反射光被捕获。 由于光是一种波,这些反射成分会相互干涉。 考虑到入射光垂直于基底入射,这种干涉的减弱和加强取决于光学膜厚度 n d(即绝对膜厚度 n 乘以厚度 d)和波长。

膜厚原理.png

Lambda Vision TFW-100分光膜厚仪技术规格

型号TFW-100(1)TFW-100(2)TFW-100(3)
用途ITO薄膜厚度一般膜厚用光片膜厚
膜厚范围10nm~500nm(C/F)150nm~1.5μm(C/F)500nm~10μm(C/F)
500nm~15μm(FFT)1.5μm~60μm(FFT)
测量重现性0.2%~1%(取决于膜材)
波长范围300nm~1000nm400nm~700nm900nm~1600nm
光源Lambda Vision TFW-100分光膜厚仪12V-100W 素灯
测量软件TF-Lab (曲线拟合法/ FFT法)




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